Investissement d’un troisième stepper NIKON en vue de la production pour la ligne 200 mm.
Souvenez-vous, nous avions évoqué l’arrivée de deux stepper NIKON (1er et 13ème numéro du Petit Muratien). Ce 25 janvier marque l’arrivée du troisième équipement.
L’installation de l’équipement a duré une bonne partie de la journée : décaissage, mise en place des coussins d’air, déplacement de l’équipement, élévation (pour être à niveau avec le sol de la salle blanche) et enfin son positionnement en salle. Son arrivée en salle de production a été assurée par une dizaine de personnes motivées et gonflées à bloc pour déplacer ces 4 tonnes de technologie.
Le démarrage en production se fera suite à l’acceptance puis à la validation par le comité de modification.
DONNÉES
> 8 personnes lors de l’installation et ensuite 1 personne avec encadrement dans chaque poste.
> Acceptance le 18/03
ASM A400 DUO
Le 9 janvier marque l’arrivée de l’ASM A400 DUO par bateau au Havre et ensuite par camion.
L’arrivée en salle blanche de l’équipement s’est réparti sur trois jours :
Mardi 9 janvier : Le déchargement des 8 caisses sur le site sous les chapiteaux, afin de les protéger de la neige plus que présente !
Mercredi 10 et jeudi 11 janvier : Ces journées étaient les plus sportives : décaissage & conditionnement des éléments pour leur entrée en salle blanche.
Mise en place d’un portique spécifique pour positionner les plateformes PM1 et PM2 à l’horizontal (hauteur de plafond insuffisante pour le passage à la vertical), et déplacement des plateformes sur leur emplacements.
La semaine suivante : Début de l’installation par le fournisseur et MIS (assemblage, mise à niveau, passage de câbles…)
Ce qu’il reste à faire : Installation des gaz process, connexions électriques l’équipement, installation des pompes à vide, redéfinition des arrivées des fluides (eau industrielle recyclée, azote, air comprimé, vide, rejets et eau déminéralisée). Puis, finalisation de l’installation par le fournisseur (durée approx. 15 jours). Le démarrage en production se fera quelques mois après.
DONNÉES
> 7 installateurs (SCHOLPP, société allemande)
> 2 techniciens ASM
> 2 personnes (Murata) pour encadrer l’arrivée de l’équipement
Qu’est-ce qu’un ASM A400 DUO ?
C’est un four vertical LPCVD (Low Pressure and Chemical Vapor Deposition) de dépôt Si3N4 (TEOS). Il est utilisé pour déposer des couches diélectriques (Nitrure Low Stress et TEOS) sur les plaques de silicium en Front End.