Nous vous proposons dans cet article un zoom sur le CEA-LETI et nos collègues grenoblois.
Tout d’abord, un peu d’histoire :
Remontons aux sources de la micro-électrique : en 1985, est créé le premier circuit intégré aux États-Unis. Côté français, il faudra attendre 1963 pour que le CENG (Centre d’Études Nucléaires de Grenoble) ne lance son 1er circuit intégré principalement fondé sur des besoins militaires ou spatiaux. Dans un contexte où les composants se doivent d’être de plus en plus petits, apparaît en France la filière de la micro-électrique avec le lancement de l’institut du LETI en 1967. Très rapidement, l’expertise développée à Grenoble es enrichie par celle du LAAS (Laboratoire d’Analyse et d’Architecture des Systèmes), une unité propre de recherche du CNRS (Centre National de la Recherche Scientifique) de Toulouse. De nombreuses start-ups vont alors naître dans les murs du Leti, notamment EFCIS en 1972 qui deviendra Thomson-Brandt en 1982 et fusionnera avec SGS en 1987 pour devenir STMicroelectronics. Les brevets s’enchaînent au sein de cet institut et le CEA devient le siège d’une multitude de premières technologies : en 1992, y es inventée la technologie SmartCutTM pour la fabrication de plaques en silicium sur isolant SOI.
Le CEA-LETI aujourd’hui :
À l’heure où la tendance mondiale est à la miniaturisation, le CEA-LETI est à la pointe de la technologie et de l’innovation du futur avec environ 2000 salariés et 10000 m² de salle blanche qui fonctionnent 24h/24 et 6j/7. Répartis en plusieurs départements, les activités en Silicium représente deux divisions avec plus de 600 chercheurs et une production principalement consacrée aux Wafers de 200 et 300 mm de diamètres (8 » et 12 »).
« 11 000 m² de salle blanche »
Un peu de MIS au sein du CEA-LETI :
Le partenariat entre MIS et le CEA-LETI remonte au 1er octobre 2009 (lancement du programme PRIIM), soit quelques mois après la création d’IPDiA. Grâce à ce soutien, MIS a pu bénéficier des ressources scientifiques de Grenoble. Aujourd’hui, 7 salariés de MIS travaillent à temps complet au sein du CEA-LETI et plus précisément au sein de la Plateforme Silicium. En liens directs avec la salle blanche, ils travaillent sur la conception et le suivi des opérations pour les nouveaux procédés.
Pour connaître davantage nos collègues grenoblois, continuez la lecture.
Le saviez-vous ?
Le CEA-LETI en quelques chiffres, c’est :
– 10 000 m² de salle blanche
– 350 partenaires industriels
– 2 600 brevets déposés
– 1 900 chercheurs et 190 salariés titulaires d’un doctorat
– 700 publications techniques par an
– 50 ans d’innovation
Collègues grenoblois, qui êtes-vous ?
Larry BUFFLE – Ingénieur R&D
Après avoir réalisé ma dernière année d’alternance chez IPDiA (développement de la gravure profonde 60 µm), j’ai suivi une thèse de 3 ans (dont la dernière année était basée à Grenoble) sur le développement de condensateurs Silicium « Haute Tension ». J’ai pu intervenir sur toutes les étapes de la conception aux tests électriques finaux, en passant par la fabrication en salle blanche. Je suis co-auteur de 8 brevets soumis.
Aujourd’hui, je suis basé au CEA-LETI depuis environ deux ans où je suis en charge du développement de la partie Haute Tension (plutôt côté « Recherche », là où Sophie à Caen est plutôt côté « Indus ») qui comprend deux grandes sous-parties : les diélectriques à base de minéraux et les diélectriques à base de Diamant synthétique extrêmement prometteur, mais sur du long terme, avec une industrialisation post-2030.
Sneka PRABHAKARAN – PhD student
Titulaire d’une licence d’Ingénieur en Polymère en Inde; j’ai obtenu mon Master sur les Matériaux Fonctionnels en Allemagne (Université technologique de Darmstadt). J’ai rejoint Murata il y a peu de temps pour réaliser ma thèse sur « la fiabilité des composants hybrides ».
Mon travail consiste à déterminer les éventuelles défaillances mécaniques sur les composants LiPON et à utiliser des modèles appropriés pour anticiper la durée de vie du composant en prenant en compte les différents mécanismes de stockage de charges électriques impliquées. Le résultat final va aider à identifier les potentiels domaines d’application. Ce travail va promouvoir les composants hybrides pour la réalisation du dispositif final.
Julien ELSABAHY – Ingénieur R&D
Je travaille au sein du laboratoire commun depuis 2016. Après une école d’ingénieur (Phelma) à Grenoble, j’ai réalisé un doctorat au CEA-LETI sur le développement de matériaux nanoporeux pour des capteurs de gaz nanométriques.
J’ai ensuite intégré MIS au sein du CEA-LETI pour travailler sur le PICS5.
Je travaille désormais sur le PICS6. Une partie de mon activité se focalise sur le développement et l’évaluation du PICS6 sous ses différentes formes.
Plus récemment, une partie de mon travail consiste à développer des diélectriques « high-k » pour les futures générations de condensateurs.
Frédéric VOIRON – Ingénieur R&D
Titulaire d’un Doctorat Science des Matériaux et Micro-Électronique (Institut National Polytechnique), j’ai travaillé plus de 20 ans dans le développement du semi-conducteur. J’ai rejoint MIS en 2010 où j’ai rapidement pris en charge les activités scientifiques dans plusieurs programmes basés sur la recherche (PRIM, MEDILIGHT…). Je suis co-auteur de 48 publications scientifiques et de 38 brevets déposés.
Aujourd’hui, je dirige les opérations au sein du CEA-LETI pour MIS et travaille à « préparer le futur » avec l’émergence du programme NANO2025 qui va soutenir l’innovation chez MIS jusqu’en 2026.
Valentin SALLAZ – Ingénieur R&D
Sorti de l’école Grenoble INP – Phelma en 2016, j’ai rejoint le groupe R&D de MIS pour y mener une thèse sur le développement de micro-condensateurs innovants à forte densité d’énergie, en lien avec les technologies lithium et plus généralement liées aux ions : ce qu’on appelle en interne « la capa ionique ». Cette thèse s’étant terminée fin octobre 2020, je suis depuis passé permanent dans le groupe et continue de travailler à l’optimisation des matériaux actifs et du procédé de fabrication en étroite collaboration avec le personnel CEA. Depuis l’arrivée de Sneka en doctorat, l’équipe capa ionique s’est finalement agrandie.
Emmanuel ARMANDO GARCIA RAMIREZ – PhD student
Titulaire d’un Master sur les Matériaux Fonctionnels, j’ai rejoint Murata pour réaliser ma thèse sur « l’Optimisation des matériaux diélectriques et des électrodes déposés par ALD sur les structures nanoporeuses ».
Mes recherches seront principalement ciblées sur l’utilisation des diélectriques avec une constante K élevée ainsi que sur l’adaptation de l’interface entre les diélectriques et les électrodes avec les différentes interface de couches.
Brigitte SOULIER – Ingénieur Process
Mon travail consiste principalement à assurer la synchronisation des différentes étapes de production pour le PICS5. Je suis en contact régulier avec Maxime LEMENAGER chez MIS qui s’occupe davantage de la partie Back-end, tandis qu’à Grenoble nous nous occupons du Front-end avec la fabrication de l astructure en 200 mm.